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夏善红 [13]
赵湛 [7]
陈绍凤 [6]
张博军 [5]
许媛媛 [5]
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MEMS负电晕放电气体传感器研究
[学位论文]
张金英
2016-5-26
基于MEMS及芯片集成技术的三维电场传感器研究
[学位论文]
方奕庚
2016-5-22
基于叠层微电极的电化学振动传感器研究
[学位论文]
范云洁
2013-6-4
催化燃烧式微型氢气传感器研究
[学位论文]
刘西锋
2013-6-2
用于光气动探测的MEMS热膜式微流量传感器研究
[学位论文]
侍艳华
2013-5-30
基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器的制作
[学位论文]
罗振宇
2012-6-2
MEMS气压传感器的设计和制作
[学位论文]
李玉欣
2012-6-2
微桥式温湿度传感器研究
[会议论文]
方震
;
赵湛
;
王奇
;
曾欢欢
;
张博军
2010-9-4
基于MEMS技术的集成温湿传感器研制
[会议论文]
方震
;
武宇
;
赵湛
;
张博军
2010-9-4
基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器
[会议论文]
武宇
;
赵湛
;
方震
;
张博军
2010-9-4
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