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microa... [26]
无
研究部门
电子所博硕士... [13]
传感技术国家... [13]
作者
夏善红 [13]
赵湛 [7]
陈绍凤 [6]
张博军 [5]
许媛媛 [5]
内容类型
学位论文 [13]
期刊论文 [9]
会议论文 [4]
发表日期
2016 [2]
2013 [3]
2012 [2]
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检索到的条目: 26条检索结果中的1-10条条目

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题名作者发表日期▼ 全文
MEMS负电晕放电气体传感器研究 [学位论文]张金英2016-5-26
基于MEMS及芯片集成技术的三维电场传感器研究 [学位论文]方奕庚2016-5-22
基于叠层微电极的电化学振动传感器研究 [学位论文]范云洁2013-6-4
催化燃烧式微型氢气传感器研究 [学位论文]刘西锋2013-6-2
用于光气动探测的MEMS热膜式微流量传感器研究 [学位论文]侍艳华2013-5-30
基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器的制作 [学位论文]罗振宇2012-6-2
MEMS气压传感器的设计和制作 [学位论文]李玉欣2012-6-2
微桥式温湿度传感器研究 [会议论文] 方震; 赵湛; 王奇; 曾欢欢; 张博军2010-9-4
基于MEMS技术的集成温湿传感器研制 [会议论文]方震; 武宇; 赵湛; 张博军2010-9-4
基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器 [会议论文]武宇; 赵湛; 方震; 张博军2010-9-4

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